海外の反応 韓国


漢陽大化学工学科の「素材実験」
半導体パターンのエッチング工程に必須原料
不良率1%上がっても年数千億損失
純度99.999%になれば使うことができる


「全羅南道麗水南海化学蔚山ファーム韓農から出るリン酸廃棄物でフッ化水素(HF)を作成すれば、どうだろうか?」

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12日、ソウル漢陽(ハンヤン)大学化学工学科の「化学熱力学」授業プレゼンテーション(PT)から出た学生たちの提案だ。フッ化水素は今年の日本の経済制裁で半導体ディスプレーなど産業界の話題に浮上した核心素材だ。半導体のパターンを刻むエッチング工程の必須原料だ。

漢陽大学生たちはプロジェクトベースの講義(PBL)に行われた今回の授業で、フッ化水素の製造方法はもちろん、不純物が0.001%以下のファイブナイン(99.999%)高純度フッ化水素、イレブン・ナイン(99.999999999%)と呼ばれる超高純度弗化水素製造方法まで分析して発表した。現在、半導体工程用フッ化水素は全量輸入に依存している。



漢陽大学化学工学科のペ・ヨンチャン教授は、「学生たちがフッ化水素分析課題を準備し、素材技術が全くない韓国の現実に初めて接し、衝撃を受けたという。

オーケストラのように進められる工程

99%以下純度フッ化水素は、ウランなど鉱物を抽出するのに使用される。99.9%以下の純度は石油化学製品を作る際に触媒に使われる。ファイブナイン(99.999%)以上になってこそ、半導体エッチング工程などに使うことができる。エッチング工程は、シリコン基板上に敷かれた酸化膜を版画の様に削り出す工程だ。

高純度フッ化水素の原料である無水フッ酸を製造する方法は二つだ。蛍石(fluorite)又はフッ化ケイ素酸(fluosilicicacid:FSA)を用いて製造するものである。

フッ化カルシウムで行われた蛍石に硫酸を混合して100度程度に加熱すると微量のフッ化水素と硫酸水素カルシウムが生成される。この時フッ化水素への転換率は約40%に過ぎない。この中間生成物を回転釜(ロータリーキルン)に入れて500度の高温で混ぜる石膏と硫酸に分解される。この時、出てきた硫酸は以降の過程で未反応の蛍石と再び反応して硫酸カルシウムとフッ化水素を出す。

比較的簡単な化学反応のようだが、そうではない。まず、反応物が有毒物の硫酸を含むとろりとした「ペースト」状態に引き続き現われるため、装置腐食の恐れが大きい。装備エネルギー効率も急激に低下しやすい。

つまり、ペースト制御が「製法を使うに値する」フッ化水素を生産するカギとなる。ペースト制御は特定の触媒にすることもでき、原料混入量又は反応器温度等工程条件を異なっても可能である。良い装備が必要なのは言うまでもない。 この過程で一つだけ外れてもフッ化水素の製造は不可能だ。

「技術を超えて、芸術だ」

このような通常の工程を超えるとフォーナイン(99.99%)の純度のフッ化水素が生成される。ソウルブレイン、ENFテクノロジー、ウォンイク、フォーサングなどの国内企業もこのレベルの技術は持っている。ここから極微量の不純物を取り除くことがカギだ。微量の不純物だけでも不良率が急騰する恐れがあるからである。

不良率が1%だけ上がっても年間数百~数千億ウォンの損失が出るというのが、半導体業界の通説だ。0.001%ほど含まれているヘキサフッ化ケイ素酸、0.003%含まれている二酸化硫黄、0.0005%の水分などを取り除けば現在汎用の半導体工程で使われる「ファイブナイン(99.999%)」の純度のフッ化水素を得ることができる。

ファイブナインからさらに、測定さえ難しい0.00001%以下、極微量の砒素、鉄などをなくせば、世界で日本(ステラケミファ等)だけが持っている「イレブン、またはのトゥエルブ・ナイン(99.999999999%)」純度のフッ化水素を精製出来る。10ナノメートル(㎚・1㎚=10億分の1m)以下の次世代半導体工程に使われる弗化水素だ。イレブンナインフッ化水素はC&B産業が2011年に特許を出したが、まだ実験室レベルに留まって商用化されなかった。

ベヨンチャン教授は「フッ化水素は事実多くの素材企業なら誰でも作れるが、カギは、純度」と「日本は素材分野で技術を越えて芸術に上がった境地と(文在寅政府が主張するように)素材関連の競争力が数年内に確保されることは難しい」と指摘した。イレブンナインのフッ化水素などは、数十年以上続く試行錯誤の末得られる「職人のノウハウ」という説明だ。

今回の講義で注目されたのは、蛍石ではなくFSA(フッ化ケイ素酸)を利用してフッ化水素を製造する代案技術だ。フッ化水素の原料である無水フッ酸の20%ほどが、この技術で製造されている。リン酸の製造過程で副産物であるFSAを削減しながら、低コストで無水フッ酸を生産し、環境汚染を低減できるという説明だ。米国のデュポンなどがこの技術を持っているが、まだ国内で試みた企業はない。


 韓国の反応 


・これは間違った記事です。一般的な無水フッ酸は蛍石と硫酸をベースに生産する方式で、ケイフッ酸ベースは不純物が高く、この方式は多くない。

国内は後性が唯一、蛍石と硫酸ベースで無水フッ酸を生産し、高純度フッ酸は国内唯一ソルブレインが生産する。

そしてソルブレインの生産品質水準は、日本と差がなく、すでに三星電子から全量採用して使っている。最近増設までして国内高純度フッ酸需給に問題がなくなり、この為に、三星でソルブレインに持分投資をしたのだ。 記者さん、ちゃんと勉強をしてから書いてくださいね



それで日本のフッ化水素を永遠に使え、というのがハンギョン親日記者君が言いたいことなのか? とんでもない記事だね



記者が勉強をたくさんして記事書いたね。三星電子の場合7nmまで量産突入し、5nmは公正セットアップ、3nm工程開発中だ。

この様な10nm以下の超微細工程では分子の大きさが他の不純物分子に誤ったエッチングをすることになれば、致命的な不良を引き起こすことになる。

このような不良を防止するため、イレブン9級超高純度フッ化水素が必要だが、簡単ではない。

実験室で一度や二度得られる水準と安定的かつ均一な品質を維持する量産の水準の確保とは次元が違う話だ。

我々にもできるという希望と期待は良い話だが、現実は違う。国産化成功までは、隠れても我慢しなければならない



どうかみんな、これがファクトだよ、日本が我々より技術がずっと優れているってことがファクトだ。基礎科学も駄目な国で、日本のあの濃度が出るのが簡単なのかな?どうか認めることは認めろ



・竹槍さえ持ち上げれば... イレブンナインフッ化水素が作れる!作れないと言ったら親日派だ?



化学業界の従事者として、「レスで数十回も話したが、嫌です」と書き込まれた・・韓国がフッ化水素は作れない、作れても50年はかかる



大韓民国左派の特徴、自分が聞きたい事だけを聞いて、自分が間違って居ると分かっても、現実を否定し、他人のせいにする。問題が起こっても無言で知らない振りをする



フッ化水素の国産化に成功という言葉は、これまで国民を欺いたにせ情報だったということか?左派のマスコミと左派政府、そして文在寅の言葉は、どこまでが真実なのか信じられない



亀尾フッ化水素工場計画を空中分解させたのが現職大統領の文氏だ



・口からは嘘だけの文句と文在寅



アジア最高の技術強国である日本のレベルにそんなに簡単に追いつくと思ったのか?実際にできることと、できると口だけで騒ぐのは違うことだ



冷酷な現実を物語るなら、日本がその程度のクオリティになるまでは、今の韓国よりずっとよくできている研究環境とインフラで、十年以上研究して得た結果である。

ところで韓国内で生産能力を備えるためには、今から人材育成とインフラ投資しても10年かかるか15年かかるか分からない事であり、その時間の間、日本の技術は更に発展しているのに、「国内生産できる」とあまりにも簡単に言える物では無い



・文在寅は、フッ化水素の国産化したとときめいてたのにwww



国内で開発したというフッ化水素は、次世代半導体工程には使えないということだ



・結論は政府の言葉が嘘だ??



我が国の人々は日本と技術格差を認定しない、知ってる人はみんな知ってる。韓国の技術は、数年は絶対追いつかない



・日本は世界最高の基礎科学大国であり、職人精神の国であるのに、韓国人は、このようなことを無視する



・文罪人の対国民詐欺劇



・フッ化水素は環境汚染の主犯だと。市民団体と共にフッ化水素工場を無くしたのが現在の文罪人では無いか?



後進国南朝鮮人達よ、お前たちは神大日本帝国に少なくとも半世紀は遅れている。日本は、1940年の初めに戦闘機、航空母艦を作っていた偉大な国家だ。その時南朝鮮人は牛車に乗って居た

引用元記事:https://is.gd/n5LxOA

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