微小表面分析のFE-EPMA及びFE-SEMを増設、
日本最大保有の委託分析機関へ

~自動車及び航空宇宙産業への研究開発の支援を強化~

株式会社ユニケミーは、原材料や部品などの研究や評価で微小な表面の観察及び元素組成を分析する電界放出型電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)と電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)を増設し、2018年5月から稼動を開始しました。
自動車や航空宇宙産業を中心に微小表面分析の需要が高く、今回の増設でお客様のニーズにより迅速かつ柔軟に対応してまいります。
なお当社は、既に保有するFE-EMPA及びEPMAを含めるとEPMA保有台数は3台となり、受託分析機関で日本最大となります。
今後も自動車や航空宇宙産業を中心に、ものづくり企業を中心とした研究開発や品質管理の支援に努めてまいります。

増設した分析機器の概要
【機器名称】電解放出電子プローブマイクロアナライザー
        (FE-EPMA: Field Emission- Electron Probe Micro Analyzer)
【型     式】JXA-8530F Plus
【機器概要】表面の観察及び元素組成の分析
      ・従来のEPMAの約10倍の高空間分解能を持ちサブミクロンオーダーの微小領域の元素組
       成分析(元素B~U)が可能
      ・元素組成成分感度が約0.1%でエネルギー分解能(元素を区別する能力)が高い
      ・電子顕微鏡観察倍率 最大約10万倍(従来EPMAは約1万倍)
【機器名称】電界放出型走査電子顕微鏡
        (FE-SEM: Field Emission- Scanning Electron Microscope)
【型     式】JSM-7200F 
【機器概要】表面の観察及び元素組成の分析
      ・従来のSEMの約10倍の高空間分解能を持ちサブミクロンオーダーの微小領域の元素組
       成分析(元素B~U)が可能
      ・元素組成成分感度が約0.5%でエネルギー分散型(EDS)分光器を搭載
      ・電子顕微鏡観察倍率 最大約20万倍(従来SEMは約1万倍)
【メーカー】日本電子株式会社
【分  析  例】・薄膜の表面処理やコーティングの膜厚等の評価
      ・電極式センサーの組成分布
      ・微小異物の調査
      ・リチウムイオン2次電池の評価
【投  資  額】約2億5千万円 

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FE-EPMA及びFE-SEMを増設した当社の試験室
上   1,500倍  下 50,000倍 電子顕微鏡写真(パーライト組織)
パーライト 8530F 1500a切り取り









図.4 パーライト 7200F'a